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ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。
根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
空气洁净度分级标准： ISO14644-1 （国际标准）
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空气洁净度等级（N）
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大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
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0.1 um
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0.2 um
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0.3 um
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0.5um
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1um
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5 um
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ISO Class 1
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10
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2
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ISO Class 2
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100
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24
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10
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4
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ISO Class 3
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1 000
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237
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102
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35
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8
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ISO Class 4
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10 000
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2 370
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1 020
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352
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83
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ISO Class 5
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100 000
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23 700
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10 200
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3 520
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832
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29
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ISO Class 6
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1 000 000
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237 000
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102 000
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35 200
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8 320
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293
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ISO Class 7
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352 000
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83 200
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2 930
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ISO Class 8
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3 520 000
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832 000
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29 300
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ISO Class 9
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35 200 000
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8 320 000
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293 000
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注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。
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